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Nordson LogoNordson March est No. 1 mondial pour les solutions plasma back-end. Ces équipements utilisent le 13MHz RF pour créer les processus plasma physique et chimique pour enlever les contaminants organiques et inorganiques, pour le traitement des surfaces afi n d’améliorer sa mouillabilité et le collage. De construction robuste ces équipements garantissent des processus fiables, automatiques, et uniformes.

NORDSON MARCH - RIE 1701 Machine de table pour gravure ionique

plasma march

Le système plasma RIE-1701 « table-top » a été conçu pour : la gravure ionique et le développement des processus associés: le contrôle de qualité, l’analyse de défauts , et le réverse ing. Puissance de 600 watts, séparation de 2.54cm, pour des wafers de 150mm et 200mm. Pour gravure avec des gaz type fluorine ou chlorine. Gravure: Silicon, SI oxide.