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NORDSON MARCH - Plasma RF en ligne, Flextrack, Itrack

Équipement 13 MHz RF plasma avec chambre adaptée pour un temps de processus rapide. Solutions pour traitement des « boat », en « strip » et pour des wafers.

March plasma

•  Plasma 13MHz ‘on-line’ fiable et robuste
•  Conçu pour un temps de processus rapide
•  Traitement des « boat », « strip » & wafers direct, indirect et IFP plasma
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