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NORDSON MARCH - RIE 1701 Machine de table pour gravure ionique

Le système plasma RIE-1701 « table-top » a été conçu pour : la gravure ionique et le développement des processus associés: le contrôle de qualité, l’analyse de défauts , et le réverse ing. Puissance de 600 watts, séparation de 2.54cm, pour des wafers de 150mm et 200mm. Pour gravure avec des gaz type fluorine ou chlorine. Gravure: Silicon, SI oxide.

March plasma

Métal : Titane, Aluminium
•  Machine de table RIE
•  Gravure; développement des processus, contrôle qualité, analyse de défaillance, reverse ing.