Systèmes de plasma sous vide pour l'activation et la décontamination

AP300/600/1000/1500

Traitement par plasma adaptable

FlexTRAK

Traitement par plasma pour processus en ligne

FlexTRAK 2MB

Traitement par plasma avec automatisation par boat en ligne

Flextrack CD/CDS

Traitement par plasma avec automatisation magasin à magasin

StratoSPHERE™ & MesoSPHERE™

Traitement par plasma pour panneaux semi-conducteur grand format