Traitement par plasma pour processus en ligne
FlexTRAK

Équipement 13 MHz RF plasma avec chambre adaptée pour un temps de processus rapide.

    Caractéristiques techniques

  • Plasma system chambre 305W x 305D mm or 305W x 560D mm

  • Plasma 13MHz «on-line» fiable et robuste

  • Conçu pour un temps de processus rapide (Temps de chargement hors process à 15s)

  • SECS/GEMS interface

  • Sauvegarde et gestion des programme, lecteur de code-barre, création de rapport de process et de traçabilité

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