Le modèle 5100 est un four vide/pression programmable avec système de chauffe (450°C) et de refroidissement rapide. Le processus de chauffe est assuré sur toute la zone de travail par un élément graphite au dessous de la plaque et en périphérie. La plaque chauffante et les outils de traitement sont fabriqués à partir de graphite à haut rayonnement thermique.
Température de fonctionnement: 500 ° C
Zone de travail thermique: 305 x 305 mm
Niveau de vide minimum: <0,067 mbar
Niveau de pression de gaz de chambre maximal: 3,7 bar
Gaz de traitement: N2 requis, (Ar He et autre gaz en option)
Option acide formique Option Flux Trap
Outillage Graphite
Les systèmes SST exploitent les outillages en graphite pour la génération de chaleur (en utilisant la résistivité du graphite) pour permettre un transfert de chaleur efficace vers l’application et pour soutenir mécaniquement les pièces avant la refusion.
Le graphite de haute qualité est utilisé avec un rapport de densité de grains très élevés avec une taille et une distribution homogène. Le résultat est un outillage mécaniquement stable thermiquement isotopique avec une haute résistance contre une déformation thermique. Les processus thermiques utilisant des outils en graphite sont hautement reproductibles tout au long de la durée de vie de l’outil. Le graphite a l’avantage supplémentaire d’absorber l’oxygène, empêchant la formation d’oxyde.
Les conceptions d’outillage en graphite dépendent de l’application, avec une règle générale pour usiner une cavité dans le graphite pour localiser le dispositif afin de fournir de la chaleur conductrice à la pièce.
Une plaque supérieure est utilisée pour minimiser les pertes de chaleur et pour fournir une température uniforme en haut et en bas de l’assemblage. Les tolérances d’usinage sont généralement de +/- 25 µm.
L’outillage en graphite peut être revêtu
- Arrête les problèmes de dégazage
- Arrête l’absorption des contaminants dans la porosité du graphite
- Réduit considérablement la génération de particules commune aux matériaux en graphite
- Donne une surface de carbone uniforme et continue qui améliore l’uniformité électrique et thermique de la structure en graphite