Profilomètre optique 3D avec capteur linéaire
CT 150

Caractéristiques techniques

• Métrologie 3D haute vitesse : mesure de matrices de 10 µm sur des composants en quelques secondes et sur des substrats en quelques minutes

• Capteur linéaire de lumière blanche confocale avec mesure à grande vitesse (1,15 million de points/seconde)

• Capteur alternatif pour une résolution de >20 nm à <320 nm, sur une plage de >0,2 mm à <3,9 mm

• Base et axes en granit, avec une zone de travail en XY de 150 x 150 mm et un réglage en Z de 100 mm

• Caméra et éclairage intégrés pour la navigation, avec réticule calibré

• Axe Z motorisé avec fonction autofocus

• PC sous Windows équipé du logiciel cyberTECHNOLOGIES Scan Suite

• Automatisation ASCAN pour la métrologie collective en environnement de production

• Dimensions/poids : 701 x 491 x 875 mm / 85 kg