Fonctions profilométriques
Analyse puissante

Capteurs optiques de haute précision

• nm – profiles/surfaces avec des senseurs confocaux points à lumière blanche :
• nm - épaisseur pour les matériaux transparents avec des interféromètres à lumière blanche et IR
• sub nm - avec microscope 3D et interféromètres 3D

Métrologie 3D

• volume en 3D, position et forme réelle sans limitation de taille
• métrologie de surfaces discontinué avec une réflectivité différente
• mesure d'épaisseur de matériaux transparents optiquement ou IR
• haute précision pour tous les matériaux (métal, SR, silicium céramique, etc.) avec niveau de référence du substrat avec compensation de surface

Métrologie XY latérale

• détection et métrologie automatiques des distances (point-point, forme-forme, ligne-ligne, ligne-cercle, ligne-cercle, etc.)
• Propriétés des lignes (Longueur, angle) et des formes (Cercles, Rectangles ..)

Balayage automatique pour la production

• Caméra avec PRS
• Exécution répétée du chargement collectif
• Déclaration et traçabilité des lots

Des Applications

• wafers - BOW, WARP, TTV
• pièces moulées, pièces optiques usinées avec précision
• matériaux imprimés ou dispensé: soudure / époxy / liquide

Pour des semi-conducteurs

• Coplanarité des composants, plan de siège et plan de régression et forme de la bosse de soudure
• Rapport des die : BLT, inclinaison, alignement, hauteur de filet avec une précision élevée
• Algorithmes intégrés pour la présence wirebond, la trajectoire de boucle et la forme du pied
• viabilité de marquage au laser et scribe & profondeur de forage