Profilomètre double capteur pour la mesure précise des épaisseurs
CT 350T / CT 600ST

Caractéristiques techniques

• Option pour multiples capteurs : confocal chromatique, interféromètre, interféromètre 3D à lumière blanche, microscope confocal, réflectomètre, caméra haute résolution

• Option capteur de ligne : 1,15 million de points/s avec une résolution jusqu'à 20 nm et un changement rapide d'objectif

• Structure en granit isolée des vibrations et enceinte de sécurité avec platine XY de 350 mm * 350 mm ou 600 mm * 600 mm

• Axe Z motorisé avec fonction autofocus

• Montages adaptés pour boat, Jedec, strip et wafer 12 pouces

• PC Windows avec le logiciel cyberTECHNOLOGIES Scan Suite

• Automatisation ASCAN pour la métrologie collective en production

• Contrôle à distance via SECS/GEM