Profilomètre optique multifonction avec système de chargement automatique pour wafers/boat/strip/Jedec
AL200S/AL200D Automatic

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Métrologie des surfaces par senseur optique
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Profilomètre optique multifonction avec système de chargement automatique pour wafers/boat/strip/Jedec

Cyber Technologies

L'AL 200S intègre une unité CT300 ou CT350T avec un système de manipulation des wafers, prenant en charge des wafers de 100 mm à 200 mm. Cette conception maximise le débit et peut être utilisée pour une large gamme d'applications "front-end".

Caractéristiques techniques

Option pour multiples capteurs : confocal chromatique, interféromètre, interféromètre 3D à lumière blanche, microscope confocal, réflectomètre, caméra haute résolution
Système automatisé de manipulation des wafers à un ou deux bras, incluant le pré-alignement des wafers et le mappage des cassettes
Progiciel M-LINK pour le contrôle à distance
Station supplémentaire pour microscope ou autre appareil
Logiciel de traçabilité
AL200D en alternative, avec cellule double pour une métrologie simultanée
Contrôle à distance via SECS/GEM

⚠️ Ce produit n'a pas de documentation

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