UV curing pour wafers montés sur film UV
AV 57

Caractéristiques techniques

• Versions pour wafers de 12 et 8 pouces sur cadre avec chargement par tiroir

• Lumière à 365 nm avec une intensité variable de 0 à 100 % de 500 mW/cm² pour un durcissement en quelques secondes

• Arrêt manuel ou automatique avec lampe témoin et avertisseur sonore

• Écran tactile pour la sélection des paramètres, l'affichage de l'état et la surveillance du processus

• Option : Azote – Élimine l'oxygène pour un durcissement optimal

• Option : Kit de protection du cadre – Protège le cadre de la lumière UV

• Faible encombrement : 550 x 500 x 400 mm ; poids : 56 kg